[17p-A3-1~18] 4.7 レーザー・プロセッシング

[17p-A3-2] フェムト秒レーザーサブミクロン加工に伴う低フルーエンスでのナノ粒子とナノピラーの成長

^○八木隆志¹，大達剛²，坂本領介³，原健人⁴ (東海大¹，昭和電線²，フォーラムエンジニアリング³，城西中学⁴)

キーワード：フェムト秒レーザー加工,固相相転移