[17p-A3-1~18] 4.7 レーザー・プロセッシング

[17p-A3-3] 結晶性シリコン基板上のフェムト秒レーザーアブレーションによるデブリ形成に対する大気の影響

^○八木隆志¹，大達剛²，坂本領介³，原健人⁴ (東海大¹，昭和電線²，城西中学³，フォーラムエンジニアリング⁴)

キーワード：femtosecond laser ablation,nano particle,debris