[17p-B1-14~21] 17.2 構造制御・プロセス

[17p-B1-15] 中性粒子ビームエッチングによる超低損傷グラフェンナノリボン形成

^○岡田健¹，黄啓賢²，賴朝松²，寒川誠二^1,3 (東北大流体研¹，東北大WPI-AIMR²，長庚大³)

キーワード：中性粒子ビームエッチング,ダメージフリーグラフェン加工,グラフェンパターニング