16:45 〜 17:00
[17p-B1-15] 中性粒子ビームエッチングによる超低損傷グラフェンナノリボン形成
キーワード:中性粒子ビームエッチング,ダメージフリーグラフェン加工,グラフェンパターニング
一般セッション(口頭講演)
17.ナノカーボン » 17.2 構造制御・プロセス
2013年9月17日(火) 16:30 〜 18:30 B1 (TC2 1F-101)
16:45 〜 17:00
キーワード:中性粒子ビームエッチング,ダメージフリーグラフェン加工,グラフェンパターニング