2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

17.ナノカーボン » 17.2 構造制御・プロセス

[17p-B1-14~21] 17.2 構造制御・プロセス

2013年9月17日(火) 16:30 〜 18:30 B1 (TC2 1F-101)

16:45 〜 17:00

[17p-B1-15] 中性粒子ビームエッチングによる超低損傷グラフェンナノリボン形成

岡田健1,黄啓賢2,賴朝松2,寒川誠二1,3 (東北大流体研1,東北大WPI-AIMR2,長庚大3)

キーワード:中性粒子ビームエッチング,ダメージフリーグラフェン加工,グラフェンパターニング