2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.6 IV族系化合物

[17p-B3-1~17] 15.6 IV族系化合物

2013年9月17日(火) 13:30 〜 18:00 B3 (TC2 1F-105)

16:30 〜 16:45

[17p-B3-12] 三フッ化塩素ガスによる炭化珪素結晶基板エッチング装置開発(2)

矢島大里1,羽深等1,加藤智久2 (横国大院工1,産総研2)

キーワード:ClF3