PDF ダウンロード スケジュール 13 いいね! 1 17:15 〜 17:30 △ [17p-B3-15] 4H-SiC微傾斜エピタキシャル成長における基底面転位の貫通刃状転位への変換 ○升本恵子1,2,伊藤佐千子1,2,後藤日出人2,田村謙太郎1,3,工藤千秋1,4,西尾譲司1,5,児島一聡1,2,大野俊之1,6,奥村元1,2 (FUPET1,産総研2,ローム3,パナソニック4,東芝5,日立6) キーワード:SiC,エピタキシャル,微傾斜