[17p-B3-1~17] 15.6 IV族系化合物

[17p-B3-9] 三フッ化塩素ガスにより形成される4度オフC面4H-SiC基板表面形態

福元裕介¹，^○羽深等¹，加藤智久² (横国大院工¹，産総研²)

キーワード：炭化珪素