[17p-B5-1~21] 13.3 絶縁膜技術

[17p-B5-1] ペロブスカイト構造SrHfO₃膜のSi基板上合成

^○右田真司，森田行則，昌原明植，太田裕之 (産総研 GNC)

キーワード：High-k,ペロブスカイト,ハフニウム