[17p-C13-1~14] 3.4 計測光学

[17p-C13-4] 欠陥検査のための空間-時間列変換を用いた超高速撮像技術

^○服部竜己¹，下田勇一¹，石井晴幸¹，斎藤佳大¹，中尾敏之²，渡辺正浩²，吉武康裕¹，合田圭介³ (日立ハイテクノロジーズ¹，日立製作所　横浜研究所²，東大院理³)

キーワード：超高速撮像,Ultra High-Speed Imaging,ファイバーレーザー