[17p-D1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-D1-1] 反射率のその場計測によるスーパーDLC膜の膜厚制御

細尾倫成¹，^○田上英人¹，須田善行¹，滝川浩史¹，神谷雅男²，瀧真³，長谷川祐史³，辻信広³，サーレ アブスアイリキ⁴ (豊橋技科大¹，伊藤光学工業²，オンワード技研³，日立ツール⁴)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン,真空アーク蒸着法,膜厚制御