[17p-D1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-D1-10] 高周波プラズマにパルスバイアス電圧を印加した水素化アモルファス炭素膜の化学気相析出

^○周小龍，小松啓志，戸田育民，大塩茂夫，村松寛之，齋藤秀俊 (長岡技科大(院))

キーワード：高周波プラズマ化学気相析出法,パルスバイアス電圧,水素化アモルファス炭素膜