[17p-D1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-D1-12] マイクロ波表面波プラズマCVDによるカーボン膜の光電流の分光感度特性

^○市村進^1,2，ギミレ ディィップ. チャンドラ¹，アディカリ スディープ¹，内田秀雄¹，脇田紘一¹，林靖彦²，梅野正義¹ (中部大・総合学術研究院¹，岡山大・院 自然科学研究科²)

キーワード：アモルファスカーボン,マイクロ波表面波プラズマCVD,薄膜