[17p-D1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-D1-16] ヨウ素添加アモルファスカーボン薄膜の作製

^○枩藤崇¹，中尾節男²，岸直希¹，曽我哲夫¹ (名工大¹，産総研²)

キーワード：アモルファスカーボン