[17p-D1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

△ [17p-D1-18] 基板バイアスがSiおよびN共添加DLC膜特性に及ぼす影響

^○真柄晃平，奥野さおり，大西悠介，中澤日出樹 (弘前大院理工)

キーワード：プラズマ化学気相成長