[17p-D1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-D1-8] ダイヤモンドライクカーボン膜の抵抗率の温度依存性

^○吉岡久志，大塩茂夫，小松啓志，戸田育民，村松寛之，齋藤秀俊 (長岡技術科学大)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン,抵抗率,温度依存性