[17p-P1-1~8] 7 ビーム応用（ポスター）

[17p-P1-5] EB描画法を用いたGaAs周期メサ構造上への直接酸化膜パターニングとナノ構造制御

^○（M1）一山貴弘，岡昇吾，芦田晃嗣，久津間保徳，金子忠昭 (関学大理工)

キーワード：電子線リソグラフィー,有機レジストフリー,熱エッチング