2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

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[17p-P1-1~8] 7 ビーム応用(ポスター)

2013年9月17日(火) 13:30 〜 15:30 P1 (デイヴィス記念館 )

13:30 〜 15:30

[17p-P1-8] XPSによるアルゴンガスクラスターイオンビームを照射したSi基板表面の損傷評価

三井所亜子1,高橋真1,稲葉雅之1,本田幸司2,三宅修吾1 (コベルコ科研1,兵庫県立工業技術センター2)

キーワード:XPS,GCIB,Si