[17p-P1-1~8] 7 ビーム応用（ポスター）

[17p-P1-8] XPSによるアルゴンガスクラスターイオンビームを照射したSi基板表面の損傷評価

^○三井所亜子¹，高橋真¹，稲葉雅之¹，本田幸司²，三宅修吾¹ (コベルコ科研¹，兵庫県立工業技術センター²)

キーワード：XPS,GCIB,Si