[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[17p-P2-1] 真空紫外吸収分光計測用同軸型小型マイクロ波プラズマ光源の開発

^○（M1）鄭霊東¹，永津雅章²，佐々木浩一³，Xijing Chang² (静岡大院¹，創造科学技術院大²，北大³)

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