[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[17p-P2-23] RF励起NH₃プラズマを用いたグラフェン外包磁気ナノ微粒子のアミノ基　表面修飾におけるNHラジカルの効果

^○張ハン¹，楊恩波²，永津雅章^1,2 (静大院工¹，創造科技院²)

キーワード：グラフェン外包磁気ナノ微粒子,RF励起プラズマ