2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

2013年9月17日(火) 13:30 〜 15:30 P2 (デイヴィス記念館 )

13:30 〜 15:30

[17p-P2-30] AlGaAs系フォトニック結晶作製に向けたドライエッチングにおけるエッチングマスクに関する研究

栂野裕二,北林佑太,近藤正彦 (阪大院工)

キーワード:ドライエッチング