[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[17p-P2-30] AlGaAs系フォトニック結晶作製に向けたドライエッチングにおけるエッチングマスクに関する研究

^○栂野裕二，北林佑太，近藤正彦 (阪大院工)

キーワード：ドライエッチング