[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[17p-P2-34] 誘導結合型フルオロカーボンプラズマにおける有機ポリマー材料のエッチング特性

^○（M1）松江駿佑，高橋和生 (京都工芸繊維大工)

キーワード：誘導結合,Etching