[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[17p-P2-38] 斜め堆積スパッタリングにより作製した微細構造化ITO薄膜の光学特性

^○井上泰志¹，石井琢¹，太田有祐¹，加藤正鷹¹，枡川尊重¹，高井治² (千葉工大工¹，関東学院大²)

キーワード：斜め堆積,反応性スパッタリング,微絨毛構造