2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

2013年9月17日(火) 13:30 〜 15:30 P2 (デイヴィス記念館 )

13:30 〜 15:30

[17p-P2-47] 水素ラジカルを用いた遷移金属の選択加熱現象による薄膜トランジスタ用多結晶Si形成

中家大希1,荒井哲司1,有元圭介1,山中淳二1,佐藤哲也1,中川清和1,高松利行2,澤野憲太郎3,白木靖寛3 (山梨大1,SST2,東京都市大3)

キーワード:選択加熱現象,多結晶Si形成,水素ラジカル