[17p-P5-1~7] 12.10 ナノバイオテクノロジー

[17p-P5-7] Niフェリチンを用いたSi薄膜カンチレバー振動子の均一結晶化

冨川崇¹，^○熊谷慎也^1,3，山下一郎^2,3，浦岡行治^2,3，佐々木実^2,3 (豊田工大¹，奈良先端大²，CREST JST³)

キーワード：フェリチン,カンチレバー,Si薄膜