[17p-P6-1~3] 15.1 バルク結晶成長

[17p-P6-1] 極低炭素濃度MCZシリコン単結晶の育成技術

^○永井勇太，中川聰子，鹿島一日兒 (グローバルウェーハズ)

キーワード：シリコン,引上げ,炭素