2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15．結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[17p-P7-1~15] 15.4 III-V族窒化物結晶

2013年9月17日(火) 13:30 〜 15:30 P7 (デイヴィス記念館 )

13:30 〜 15:30

[17p-P7-7] 熱処理によるゲート金属（Ti or TiSi2）/AlGaN界面の化学結合状態変化

○野畑大祐1，角嶋邦之2，岩井博3，野平博司1 (都市大工1，東工大総理工2，東工大フロンティア研3)

キーワード：SR-XPS,gate metal,AlGaN