[17p-P9-1~2] 15.8 結晶評価.ナノ不純物・結晶欠陥

[17p-P9-1] GaN基板の転位密度低減を目的とした2波長パルスレーザアニール(DPLA)の副次的効果

^○藤枝真理子¹，石井崇正¹，安斎信一¹，櫻井岳暁¹，関口隆史²，秋本克洋¹ (筑波大¹，物材機構²)

キーワード：GaN,転位,カソードルミネッセンス