[18a-A13-1~9] 7.7 微小電子源

[18a-A13-5] 「ビーム応用分科内招待講演」（30分）多段ゲート型マイクロカラムの開発

^○根尾陽一郎¹，小池昭史¹，三村秀典¹，村田英一²，西孝³，吉田知也³，長尾昌善³ (静大電研¹，名城大²，産総研³)

キーワード：微小電子源