[18a-A4-1~9] 16.2 プロセス技術・デバイス

[18a-A4-1] 「非晶質・微結晶分科内招待講演」（30分）シリコンインクの製膜性と薄膜特性

^○増田貴史^1,2，下田達也^1,2,3 (北陸先端大¹，JST-ERATO²，JST-ALCA³)

キーワード：シリコンインク,液体シリコン