[18a-A4-1~9] 16.2 プロセス技術・デバイス

[18a-A4-3] メニスカス力による中空構造シリコン膜の大面積転写

^○中村将吾，酒池耕平，赤澤宗樹，福永貴司，林将平，東清一郎 (広大院先端研)

キーワード：中空構造シリコン膜,メニスカス力,転写