[18a-A4-1~9] 16.2 プロセス技術・デバイス

[18a-A4-4] メニスカス力を利用した中空構造微小Si膜の局所転写

^○福永貴司，酒池耕平，中村将吾，赤澤宗樹，東清一郎 (広大院先端研)

キーワード：中空構造Si膜