[18a-A4-1~9] 16.2 プロセス技術・デバイス

[18a-A4-6] Si基板上に合成したII型Siクラスレート膜のNa内包量の低減

^○林和秀，砂場昭吾，野村政貴，太田光祐，岩井義樹，大橋史隆，伴隆幸，久米徹二，野々村修一 (岐阜大工)

キーワード：Si,clathrate,Na