2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

16.非晶質・微結晶 » 16.2 プロセス技術・デバイス

[18a-A4-1~9] 16.2 プロセス技術・デバイス

2013年9月18日(水) 09:15 〜 12:00 A4 (TC1 2F-216)

11:15 〜 11:30

[18a-A4-7] Ge/a-Si/Metal構造による赤外線センサ用薄膜の電気特性

中村優平,宝田隼,古川昭雄 (東理大)

キーワード:ポテンシャル障壁,赤外線センサ,a-Si