[18a-A4-1~9] 16.2 プロセス技術・デバイス

[18a-A4-9] スパッタ成膜とランプアニールによるVO₂の表面形状制御

^○西川和孝，岸田佳大，竹田康彦 (豊田中研)

キーワード：VO2,スパッタ,表面