[18a-B2-1~8] 17.2 構造制御・プロセス

[18a-B2-8] 光電子制御プラズマCVD法によるδ-ドープダイヤモンドライクカーボン薄膜の作製

^○鷹林将¹，楊猛²，林広幸²，ラデク イェシコ²，小川修一²，尾辻泰一¹，高桑雄二² (東北大・通研¹，東北大・多元研²)

キーワード：diamondlike carbon