2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

17.ナノカーボン » 17.2 構造制御・プロセス

[18a-B2-1~8] 17.2 構造制御・プロセス

2013年9月18日(水) 09:00 〜 11:15 B2 (TC2 1F-102)

11:00 〜 11:15

[18a-B2-8] 光電子制御プラズマCVD法によるδ-ドープダイヤモンドライクカーボン薄膜の作製

鷹林将1,楊猛2,林広幸2,ラデク イェシコ2,小川修一2,尾辻泰一1,高桑雄二2 (東北大・通研1,東北大・多元研2)

キーワード:diamondlike carbon