[18a-B3-1~9] 15.6 IV族系化合物

[18a-B3-1] SiC 溶液成長における流れ制御によるトレンチ形成の抑制

^○朱燦¹，原田俊太¹，関和明¹，肖世玉¹，田川美穂¹，松本祐司²，加藤智久^3,4，蔵重和央^4,5，奥村元^3,4，宇治原徹¹ (名大院工¹，東北大院工²，産総研³，FUPET⁴，日立化成⁵)

キーワード：トレンチ,SiC,solution flow