2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15．結晶工学 » 15.6 IV族系化合物

[18a-B3-1~9] 15.6 IV族系化合物

2013年9月18日(水) 09:00 〜 11:30 B3 (TC2 1F-105)

11:00 〜 11:15

[18a-B3-8] ミラー電子顕微鏡を用いたSiC基板中の転位の非破壊検査

○一色俊之1，長谷川正樹2 (京都工繊大1，日立中研2)

キーワード：欠陥評価,ミラー電子顕微鏡,非破壊非接触