2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

[18a-B4-1~10] 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

2013年9月18日(水) 09:15 〜 12:00 B4 (TC2 1F-106)

09:45 〜 10:00

[18a-B4-3] Al 誘起成長Si 層の結晶方位・粒径に与える成長温度効果

沼田諒平1,都甲薫1,宇佐美徳隆2, 3,末益崇1, 3 (筑波大院 数理物質1,名大院 工2,JST-CREST3)

キーワード:Si,Al誘起成長,方位制御