PDF ダウンロード スケジュール 7 いいね! 0 10:15 〜 10:30 [18a-B4-5] a-GeSn/c-Si構造の固液共存アニールによる極低温SiGe(Sn)成長 ○知北大典,松村亮,木下侑紀,甲斐友樹,佐道泰造,宮尾正信 (九大院システム情報) キーワード:SiGeSn,固液共存,低温