PDF ダウンロード スケジュール 6 いいね! 0 10:30 〜 10:45 [18a-B4-6] a-GeSn/絶縁膜構造の固液共存アニールによる大粒径Ge(Sn)成長 ○甲斐友樹,知北大典,松村亮,佐道泰造,宮尾正信 (九大院システム情報) キーワード:GeSn,固液共存