2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

[18a-B4-1~10] 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

2013年9月18日(水) 09:15 〜 12:00 B4 (TC2 1F-106)

10:30 〜 10:45

[18a-B4-6] a-GeSn/絶縁膜構造の固液共存アニールによる大粒径Ge(Sn)成長

甲斐友樹,知北大典,松村亮,佐道泰造,宮尾正信 (九大院システム情報)

キーワード:GeSn,固液共存