[18a-C2-1~8] 8.4 プラズマエッチング

[18a-C2-1] CHxF4-x(x=0-3)化合物の電子衝突解離(III)

^○林俊雄，石川健治，関根誠，堀勝 (名古屋)

キーワード：Dissociation paths,fluoromethanes,high energy excited states