[18a-C2-1~8] 8.4 プラズマエッチング

[18a-C2-2] オンウェハモニタリングによるプラズマエッチング形状予測

^○久保田智広¹，佐藤充男²，岩崎拓也³，小野耕平³，寒川誠二^1,4 (東北大流体研¹，原田産業²，みずほ情報総研³，東北大WPI-AIMR⁴)

キーワード：オンウェハセンサ,プラズマ計測,イオン軌道予測