2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[18a-D1-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

2013年9月18日(水) 09:15 〜 12:00 D1 (MK 1F-101)

09:45 〜 10:00

[18a-D1-3] Defect examination of heteroepitaxial diamond by etch pit method Ⅳ

Kimiyoshi Ichikawa1, Hideyuki Kodama1, Kazuhiro Suzuki2, Atsuhito Sawabe1 (Aoyama Gakuin Univ.1, TOPLAS ENG.2)

キーワード:Diamond,Etching,Dislocation