11:30 〜 11:45
△ [18a-D6-8] バイオテンプレート極限加工によるGaAsナノディスクの作製プロセスの最適化
キーワード:中性粒子ビームエッチング,量子ドットレーザー,フェリチン
一般セッション(口頭講演)
14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.2 超薄膜・量子ナノ構造
2013年9月18日(水) 09:30 〜 12:00 D6 (MK 3F-301)
11:30 〜 11:45
キーワード:中性粒子ビームエッチング,量子ドットレーザー,フェリチン