2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.4 光物性・発光デバイス

[18a-D7-1~11] 14.4 光物性・発光デバイス

2013年9月18日(水) 10:00 〜 13:00 D7 (MK 3F-302)

12:00 〜 12:15

[18a-D7-8] NH3ガスを用いたAl薄膜の直接窒化によるAlN薄膜の形成

○（M1）梶原舜，鍵政亮介，松本允洸，勝俣裕 (明大理工)

キーワード：AlN,薄膜,直接窒化