[18a-P1-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[18a-P1-2] 強誘電体厚膜形成におけるクラック抑制

^○山口正樹，渡辺和貴，西川宏之 (芝浦工大)

キーワード：強誘電体,厚膜