[18a-P1-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[18a-P1-3] PFMを用いた強誘電体薄膜の面内及び鉛直方向の圧電性評価(Ⅱ)

^○瀬戸翔太，中嶋誠二，藤沢浩訓，清水勝 (兵庫県大工)

キーワード：圧電